[发明专利]排气的减压除害方法及其装置在审
| 申请号： | 201880027015.3 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN110582340A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 柳泽道彦;塚田勉;今村启志 | 申请（专利权）人： | 北京康肯环保设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/46;H01L21/31;H05H1/30;H05H1/32 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 100052 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供能够最小化稀释用氮气的使用、能量的利用效率优异的排气的除害方法及其装置。即，本发明是排气的减压除害方法及其装置，其特征在于，将通过真空泵从发生源供给的排气保持在减压状态并利用高温等离子体的热进行分解处理。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 除害 氮气 高温等离子体 分解处理 减压状态 减压 发生源 真空泵 最小化 稀释 | ||
【主权项】：
1.排气的减压除害方法，其特征在于，将通过真空泵从排气发生源供给的排气保持在减压状态并利用高温等离子体的热进行分解处理。/n
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