[发明专利]用于旋转基座的等离子体源有效
| 申请号： | 201880027810.2 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110622278B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 卡洛·贝拉;阿纳塔·K·苏比玛尼;约翰·C·福斯特;菲利普·A·克劳斯;法扎德·霍什德;陈汉红 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体源组件包含具有主体的RF热电极与至少一个返回电极，至少一个返回电极与RF热电极间隔开，以提供其中可以形成等离子体的间隙。RF馈送连接到RF热电极，而位于距离RF热电极的内周端一距离处，所述距离小于或等于RF热电极的长度的约25％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 基座 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体源组件，包含：/n壳体，具有内周边缘、外周边缘、及前沿面，所述壳体包括气体入口，以形成来自所述气体入口的流动路径，以允许气体流动穿过所述壳体并离开所述前沿面中的开口；/nRF热电极，位于所述壳体内，所述RF热电极具有细长主体，所述细长主体具有靠近所述壳体的所述内周边缘的内周端以及靠近所述壳体的所述外周边缘的外周端，并定义所述RF热电极的长度；/n返回电极，具有细长主体，所述细长主体延伸于所述壳体的所述内周边缘与所述外周边缘之间，所述返回电极与所述RF热电极间隔开，以提供其中可形成等离子体的间隙；以及/nRF馈送，连接到所述RF热电极，而位于距离所述RF热电极的所述内周端一距离处，所述距离小于或等于所述RF热电极的所述长度的约25％。/n
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