[发明专利]透射电子显微镜样品对齐系统和方法有效
| 申请号： | 201880028032.9 | 申请日： | 2018-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN110612592B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张大梁;韩宇;李昆;朱艺涵 | 申请（专利权）人： | 阿卜杜拉国王科技大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/147;H01J37/304;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 侯丽英;刘继富 |
| 地址： | 沙特阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统和方法，其涉及将电子束施加到样品并利用所施加的电子束获得样品的图像。基于图像中的反射分布自动确定样品相对于样品的区域轴的定向。基于所确定的定向自动调整样品的定向，以与样品的区域轴对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 样品 对齐 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：/n将电子束施加(205、310)到样品(106)；/n利用所施加的电子束(104)获得(210、315)样品(106)的图像；/n基于图像中的反射分布自动确定(215、320-330)样品(106)相对于样品的区域轴的定向；以及/n基于所确定的定向自动调整(220、335)样品(106)的定向，使其与样品的区域轴对齐。/n
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