[发明专利]具有局部洛伦兹力的模块化微波源有效
| 申请号： | 201880029380.8 | 申请日： | 2018-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN110622279B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·艾伦·克劳斯;蔡泰正;曼尼·苏布拉马尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式包括方法和设备，所述方法和设备包括等离子体处理工具，所述等离子体处理工具包括多个磁体。在一个实施方式中，等离子体处理工具可包括处理腔室和耦接至处理腔室的多个模块化微波源。在实施方式中，多个模块化微波源包括位于形成处理腔室的外壁的一部分的电介质上的施加器阵列，和微波放大模块阵列。在实施方式中，每一微波放大模块耦接至施加器阵列中的施加器之一或更多者。在实施方式中，等离子体处理工具可包括多个磁体。在实施方式中，磁体围绕施加器之一或更多者定位。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 局部 洛伦兹力 模块化 微波 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理工具，包括：/n处理腔室；和/n多个模块化微波源，所述多个模块化微波源耦接至所述处理腔室，其中所述多个模块化微波源包括：/n施加器阵列，所述施加器阵列位于形成所述处理腔室的外壁的一部分的电介质上；和/n微波放大模块阵列，其中每一微波放大模块耦接至所述施加器阵列中的施加器之一或更多者；和/n多个磁体，其中所述磁体围绕所述施加器之一或更多者定位。/n
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