[发明专利]用于预测器件制造工艺的良率的方法有效
| 申请号： | 201880029609.8 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110622069B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | A·雅玛;C·E·塔贝里;S·H·C·范戈尔普;林晨希;D·索恩塔格;H·E·切克利;R·阿尔瓦雷斯·桑切斯;刘士嵚;S·P·S·哈斯廷斯;B·门奇特奇科夫;C·T·德鲁伊特尔;P·滕伯格;M·J·勒塞尔;段薇;P-Y·J·Y·吉特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郭星 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于预测经受工艺的衬底的电特性的方法和相关联的计算机程序。该方法包括：基于电计量数据和包括至少一个参数的测量的工艺计量数据的分析，确定电特性对工艺特性的灵敏度，电计量数据包括从先前处理的衬底测量的电特性，至少一个参数与从先前处理的衬底测量的工艺特性相关；获取与衬底相关的描述至少一个参数的工艺计量数据；以及基于灵敏度和工艺计量数据，预测衬底的电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 预测 器件 制造 工艺 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于预测经受工艺的衬底的电特性的方法，所述方法包括：/n基于对电计量数据和包括至少一个参数的测量的工艺计量数据的分析，确定所述电特性对工艺特性的灵敏度，所述电计量数据包括从先前处理的衬底测量的电特性，所述至少一个参数与从所述先前处理的衬底测量的所述工艺特性相关；/n获取与所述衬底相关的、描述所述至少一个参数的工艺计量数据；以及/n基于所述灵敏度和所述工艺计量数据，预测所述衬底的所述电特性。/n
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