[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201880029870.8 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110709539B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 岸弘史;长谷部幸太;安部贵裕;藤原秀树;北原江梨子 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够经受多次提拉等极长时间的单晶提拉工序的石英玻璃坩埚及其制造方法。石英玻璃坩埚(1)具备：有底圆筒状的坩埚主体(10)，由石英玻璃制成；以及含有结晶化促进剂的涂膜(13A、13B)，以通过基于提拉法进行的单晶硅的提拉工序中的加热在坩埚主体(10)的表面附近形成结晶化促进剂浓缩层的方式形成于所述坩埚主体(10)的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英玻璃坩埚，其为在基于提拉法进行的单晶硅的提拉中使用的石英玻璃坩埚，该石英玻璃坩埚的特征在于，具备：/n有底圆筒状的坩埚主体，由石英玻璃制成；以及/n含有结晶化促进剂的涂膜，以通过所述单晶硅的提拉工序中的加热在所述坩埚主体的表面附近形成结晶化促进剂浓缩层的方式形成于所述坩埚主体的表面。/n
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