[发明专利]使用模块化微波源的具有对称且不规则的形状的等离子体有效
| 申请号： | 201880030817.X | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110612594B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡泰正;法扎德·霍什曼德;克里斯汀·阿莫米诺;菲利普·艾伦·克劳斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供使用模块化微波源的具有对称且不规则的形状的等离子体。实施方式包含：等离子体处理工具，所述等离子体处理工具包含：处理腔室，及被耦接至该处理腔室的多个模块化微波源。在一实施方式中，该多个模块化微波源包含：施加器的阵列，所述施加器被设置在介电体上，该介电体形成该处理腔室的外壁的一部分。该施加器的阵列可被耦接至该介电体。此外，该多个模块化微波源可包含：微波放大模块的阵列。在一实施方式中，每一微波放大模块可被耦接至在施加器的阵列中的所述施加器中的至少一者。根据一实施方式，该介电体是平面的、非平面的、对称的，或非对称的。在又一实施方式中，该介电体可包含：多个凹部。在此一实施方式中，至少一个施加器可被设置在所述凹部的至少一者中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 模块化 微波 具有 对称 不规则 形状 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理工具，包含：/n处理腔室；和/n多个模块化微波源，所述模块化微波源被耦接至所述处理腔室，其中所述多个模块化微波源包含：/n施加器的阵列，其中所述施加器的阵列被设置在介电体上，所述介电体形成所述处理腔室的外壁的一部分，并且其中所述施加器的阵列被耦接至所述介电体；和/n微波放大模块的阵列，其中每一微波放大模块被耦接至在所述施加器的阵列中的所述施加器中的至少一者。/n
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