[发明专利]具有凹凸部的压力传感器及其制造方法在审
申请号: | 201880031318.2 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN110678724A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 金周镕;崔敏起 | 申请(专利权)人: | 崇实大学校产学协力团 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;H01L41/113;G01L13/02 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 延美花;臧建明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 公开具有凹凸部的压力传感器及其制造方法。公开的压力传感器是感测垂直方向的压力的压力传感器,包括第一压力传感器部及第二压力传感器部,所述第一压力传感器部及所述第二压力传感器部层叠,所述第一压力传感器部的上面及所述第二压力传感器部的下面形成有凹凸部。 | ||
搜索关键词: | 第二压力传感器 第一压力传感器 压力传感器 凹凸部 感测 制造 | ||
【主权项】:
1.一种压力传感器,是感测垂直方向的压力的压力传感器,其特征在于:/n包括第一压力传感器部及第二压力传感器部,/n所述第一压力传感器部及所述第二压力传感器部层叠,所述第一压力传感器部的上面及所述第二压力传感器部的下面形成有凹凸部。/n
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