[发明专利]产生负温度系数电阻器传感器的方法有效
| 申请号： | 201880031557.8 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN110799667B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 贾罗斯洛·基塔;拉尔夫·穆斯;克里斯蒂安·蒙克;韦罗尼克·普兰;米迦勒·舒伯特;苏菲·舒尔曼 | 申请（专利权）人： | 维斯海电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;H01C7/04 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭愿洁;彭家恩 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明系关于生产负温度系数电阻器(NTCR)传感器之方法，该方法包括步骤：提供包括在气胶生产单元中之未锻烧粉末及载体气体之混合物，该未锻烧粉末包括金属氧化物组成；由该混合物及该载体气体形成气胶并且于真空中加速该气胶朝向配置在沉积腔体中之基板；形成该混合物之该未锻烧粉末之薄膜于该基板上；以及借由施加热处理步骤转换该薄膜成为尖晶石基材料层。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 温度 系数 电阻器 传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种产生负温度系数电阻器(NTCR，Negative Temperature CoefficientResistor)传感器(17、18、19)的方法，其特征在于，该方法包括步骤：/n－提供包括在气胶生产单元(6)中的未锻烧粉末(8)及载体气体(9’)的混合物(3)，该未锻烧粉末(8)包括金属氧化物组成(9.1、9.2、9.3、9.x)；/n－由该混合物(3)及该载体气体(9’)形成气胶(9)并且于真空中加速该气胶(9)朝向配置在沉积腔体(4)中的基板(2)；/n－形成该混合物的该未锻烧粉末(8)的薄膜(10)于该基板(2)上；以及/n－通过施加热处理步骤转换该薄膜(10)成为尖晶石基材料层(13)。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于维斯海电子有限公司，未经维斯海电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880031557.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
