[发明专利]红外线摄像元件、红外线摄像阵列以及红外线摄像元件的制造方法有效
申请号: | 201880032188.4 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN110651173B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 前川伦宏 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;H01L27/144;H01L27/146;H04N5/33 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 红外线摄像元件包括:基板,具有表面和背面,设置有电路部;支撑脚布线,配置于基板的表面的上方;以及红外线探测部,保持于支撑脚布线之上,设置有经由支撑脚布线与电路部电连接的二极管,将红外线探测部的温度变化作为二极管的电信号的变化而用电路部检测,其中,基板、支撑脚布线以及红外线检测部在与基板的表面垂直的方向相互隔开间隔而层叠。 | ||
搜索关键词: | 红外线 摄像 元件 阵列 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种红外线摄像元件,其特征在于,包括:/n基板(31),具有表面和背面,设置有电路部(32);/n支撑脚布线(4),配置于该基板(31)的表面的上方;以及/n红外线探测部(23),保持于该支撑脚布线(4)之上,设置有经由该支撑脚布线(4)与该电路部(32)电连接的二极管(2),/n将该红外线探测部(23)的温度变化作为该二极管(2)的电信号的变化而用该电路部(32)检测,其中,/n该基板(31)、该支撑脚布线(4)以及该红外线检测部(23)在与该基板(31)的表面垂直的方向Z相互隔开间隔而层叠。/n
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