[发明专利]滤波器控制式导出方法、光测量系统、法布里-帕罗干涉滤波器的控制方法及滤波器控制程序有效
| 申请号： | 201880033688.X | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110709750B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 藁科祯久;田畑桂 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G01J3/26;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的滤波器控制式导出方法具备：准备步骤，其准备通过静电力与弹性力平衡而控制固定镜部(35)与可动镜部(36)间的距离(x)的法布里‑帕罗干涉滤波器；第1导出步骤，其通过实施规定的测量，而导出将可动镜部(36)的弹性指标(k)作为将可动镜部的挠曲量(m)设为变量的2次以上的多项式而记述的挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式；及第2导出步骤，其基于挠曲量(m)与弹性指标(k)的关系式、以及静电力与弹性力的关系式，将透过法布里‑帕罗干涉滤波器的光的透过波长与电压(V)的关系式作为滤波器控制式导出；在第1导出步骤中，在作为电压施加互不相同的多个电压的各个的状态下，测量透过法布里‑帕罗干涉滤波器的光的透过波长。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 控制 导出 方法 测量 系统 法布里 干涉 控制程序 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器控制式导出方法，其特征在于，/n具备：/n准备步骤，其准备通过在施加电压时在固定镜部与可动镜部之间产生的静电力与产生于所述可动镜部的弹性力平衡，而控制所述固定镜部与所述可动镜部之间的距离的法布里-帕罗干涉滤波器；/n第1导出步骤，其关于准备的所述法布里-帕罗干涉滤波器，通过在规定的环境温度下实施规定的测量，而导出所述可动镜部的弹性指标作为将所述可动镜部的挠曲量设为变量的2次以上的多项式记述的所述挠曲量与所述弹性指标的关系式；及/n第2导出步骤，其基于所述挠曲量与所述弹性指标的所述关系式、以及所述静电力与所述弹性力的关系式，将透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长与所述电压的关系式作为滤波器控制式导出，/n在所述第1导出步骤中，作为所述规定的测量，在作为所述电压施加互不相同的多个电压的各个的状态下，测量透过所述法布里-帕罗干涉滤波器的光的透过波长。/n
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