[发明专利]器件解析装置及器件解析方法有效
| 申请号： | 201880034008.6 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110662973B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 松本彻;远藤幸一;中村共则;越川一成 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 器件解析装置(1)是执行功率半导体器件(P)的好坏判别的器件解析装置，具备：施加部(12)，其对功率半导体器件(P)施加电压信号；光检测部(13)，其在多个检测位置(A～D)上检测来自功率半导体器件(P)的光，并输出基于检测结果的检测信号；及判别部(33)，其基于检测信号的时间变化，判别功率半导体器件(P)的好坏。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 解析 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种器件解析装置，其特征在于，/n是执行功率半导体器件的好坏判别的器件解析装置，/n具备：/n施加部，其对所述功率半导体器件施加电压信号；/n光检测部，其在多个检测位置上检测来自所述功率半导体器件的光，并输出基于检测结果的检测信号；及/n判别部，其基于所述检测信号的时间变化，判别所述功率半导体器件的好坏。/n
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