[发明专利]碘化铝用作离子源材料时的共伴氢气有效
| 申请号： | 201880034266.4 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111263971B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·科尔文;哲-简·谢;尼尔·巴森 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入系统，其离子源配置成由碘化铝形成离子束。束线总成选择性将离子束输送到终端站，该终端站配置成接受离子束以将铝离子注入到工件中。电弧腔室由碘化铝形成等离子体，其中来自电源部的电弧电流配置成从碘化铝中离解出铝离子。一个或多个引出电极从电弧腔室中引出离子束。共伴氢气源进一步引入共伴氢气以使残余碘化铝与碘化物发生反应，其中从所述系统中排空反应后的残余碘化铝和碘化物。 | ||
| 搜索关键词： | 碘化 用作 离子源 材料 氢气 | ||
【主权项】：
暂无信息
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