[发明专利]线圈激励式压力传感器有效
| 申请号： | 201880034816.2 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN110662951B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | A·莱瑟姆;M·C·杜格;C·费尔蒙;X·杜阿梅尔德米利;M·帕内捷-勒克尔 | 申请（专利权）人： | 阿莱戈微系统有限责任公司;原子能和辅助替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01L13/02 | 分类号： | G01L13/02;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器包括：腔室，所述腔室包括传导性部分和联接到传导性部分的可变形部分，并且可变形部分易于响应于腔室的内部与腔室的外部之间的压力差而变形；响应于AC线圈驱动信号的至少一个线圈；至少一个磁场感测元件，其邻近所述至少一个线圈且邻近所述腔室的传导性部分设置，并配置成响应于由所述至少一个线圈生成并被所述传导性部分反射的反射磁场生成磁场信号；以及电路，电路联接到所述至少一个磁场感测元件，以响应于所述磁场信号生成压力传感器的输出信号，输出信号指示腔室的内部与腔室的外部之间的压力差。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 激励 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：/n腔室，所述腔室包括传导性部分和联接到传导性部分的可变形部分，并且所述可变形部分易于响应于所述腔室的内部与所述腔室的外部之间的压力差而变形；/n至少一个线圈，所述至少一个线圈响应于AC线圈驱动信号；/n至少一个磁场感测元件，所述至少一个磁场感测元件邻近所述至少一个线圈且邻近所述腔室的所述传导性部分设置，并且所述至少一个磁场感测元件配置成响应于由所述至少一个线圈生成且被所述传导性部分反射的反射磁场而生成磁场信号；以及/n电路，所述电路联接到所述至少一个磁场感测元件，以响应于所述磁场信号生成压力传感器的输出信号，所述输出信号指示所述腔室的内部与所述腔室的外部之间的压力差。/n
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