[发明专利]检查系统以及检查方式

摘要

提供一种检查用照明装置，即使因被检查对象的特征点产生的光的变化微小，也能够在该整个视野范围内判定该光的变化量，并能够以相同条件检测出该特征点。所述检查用照明装置(100)具备面光源(1)，在所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间，在与检查对象(W)接近一侧配置透镜(2)，以使遮光罩(M1)以及滤光器单元(F1)的至少任意一个位于以该透镜的焦点位置为中心的位置，使从所述面光源(1)放射的光被所述透镜(2)向所述检查对象(W)照射时的照射立体角，具备具有特定的光属性且以光轴为中心以放射状配置的立体角区域，与在被检查对象的特征点产生的变化配合，使所述检查光的照射立体角的形状和大小以及倾斜角、和所述照射立体角内的具有特定的光属性的立体角区域，能够在该整个视野范围内大致均匀地进行设定。

主权项

1.一种检查系统，其特征在于，具备：/n检查用照明装置，其向检查对象照射检查光，并且能够设定为照射到所述检查对象的各点的检查光的照射立体角具备具有不同的光属性的多个立体角区域；以及/n拍摄装置，其拍摄在所述检查对象的各点中反射或者透射或者散射的物体光的拍摄装置，并能够选择性地拍摄所述物体光的不同的光属性，/n在所述检查对象的各点中，能够将所述物体光的光轴的变化、或者针对由拍摄装置形成的所述检查对象的各点的相对于观察立体角的所述物体光的立体角的变化，在与所述观察立体角的包含关系中，作为由所述检查光的所述多个立体角区域引起的所述物体光的多个光属性的变化进行检测，并根据该多个光属性的变化量，对所述检查对象的各点中的多个方向的倾斜，特定倾斜的方向和该倾斜的角度，并特定所述检查对象的表面的三维性质。/n