[发明专利]用于产生高折射率波导的方法在审
| 申请号： | 201880035227.6 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110709775A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;史蒂文·韦尔韦贝克;约瑟夫·R·约翰逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/80;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式整体涉及一种波导和一种产生波导的方法。在一个实施方式中，本文公开了一种形成波导的方法。形成反转母衬底，所述反转母衬底具有从所述反转母衬底延伸的多个凸起。在所述反转母衬底的顶表面上形成高折射率材料。在所述高折射率材料的顶表面上设置玻璃层。从所述高折射率材料移除所述反转母衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 反转 高折射率材料 波导 顶表面 玻璃层 凸起 移除 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种形成波导的方法，包括：/n形成反转衬底，所述反转衬底具有从所述反转衬底延伸的多个凸起和沟槽；/n在所述反转衬底的顶表面上形成高折射率材料；/n在所述高折射率材料的顶表面上设置玻璃层；和/n从所述高折射率材料移除所述反转衬底。/n
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