[发明专利]聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体有效
申请号: | 201880035479.9 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN110709245B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 山下全广;奥山哲雄;土屋俊之;渡边直树;德田桂也;原彰太 | 申请(专利权)人: | 东洋纺株式会社 |
主分类号: | B32B27/34 | 分类号: | B32B27/34 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 汤国华 |
地址: | 日本国大阪府大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明要解决的课题为提供一种聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体,其可用于以高成品率制造包括有机EL显示元件之类的微小设备阵列的挠性电子设备。将经过充分地洗涤、清洁从而除去无机物异物的聚酰亚胺膜与无机基板贴合形成层叠体,进一步地在350℃以上且小于600℃的温度下热处理后急速冷却,从而使有机异物碳化减少,并且起泡内的气体迅速冷却,从而使起泡高度降低,得到内部包埋有碳化物粒子的起泡缺陷的个数密度为50个/平方米以下、起泡的平均高度在2μm以下、起泡个数密度(个/平方米)和起泡的平均高度(μm)之积在20以下的聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体。 | ||
搜索关键词: | 聚酰亚胺 无机 层叠 | ||
【主权项】:
1.一种聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体,其特征在于,聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体至少满足(a)或(b)的条件,/n(a)起泡缺陷的个数密度在50个/平方米以下,起泡的平均高度在2μm以下,起泡个数密度和起泡的平均高度μm之积在20以下,起泡个数密度的单位为个/平方米,/n(b)聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体中,高度3μm以上的起泡个数为10个/平方米。/n
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