[发明专利]聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体有效

专利信息
申请号: 201880035479.9 申请日: 2018-05-24
公开(公告)号: CN110709245B 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 山下全广;奥山哲雄;土屋俊之;渡边直树;德田桂也;原彰太 申请(专利权)人: 东洋纺株式会社
主分类号: B32B27/34 分类号: B32B27/34
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 汤国华
地址: 日本国大阪府大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明要解决的课题为提供一种聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体,其可用于以高成品率制造包括有机EL显示元件之类的微小设备阵列的挠性电子设备。将经过充分地洗涤、清洁从而除去无机物异物的聚酰亚胺膜与无机基板贴合形成层叠体,进一步地在350℃以上且小于600℃的温度下热处理后急速冷却,从而使有机异物碳化减少,并且起泡内的气体迅速冷却,从而使起泡高度降低,得到内部包埋有碳化物粒子的起泡缺陷的个数密度为50个/平方米以下、起泡的平均高度在2μm以下、起泡个数密度(个/平方米)和起泡的平均高度(μm)之积在20以下的聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体。
搜索关键词: 聚酰亚胺 无机 层叠
【主权项】:
1.一种聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体,其特征在于,聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体至少满足(a)或(b)的条件,/n(a)起泡缺陷的个数密度在50个/平方米以下,起泡的平均高度在2μm以下,起泡个数密度和起泡的平均高度μm之积在20以下,起泡个数密度的单位为个/平方米,/n(b)聚酰亚胺膜和无机基板的层叠体中,高度3μm以上的起泡个数为10个/平方米。/n
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