[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法以及移动体的驱动方法在审
| 申请号： | 201880035547.1 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110709793A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 原笃史;坂田晃一;桥场成史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;H01L21/68;G03F7/20;G05D3/00 |
| 代理公司： | 11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板平台装置(20)包括：微动平台(24)；X粗动平台(34)；Y粗动平台(32)；致动器单元(70X | ||
| 搜索关键词： | 动平台 微动平台 空气致动器 相对移动 音圈马达 致动器单元 基板平台 控制系统 致动器 赋予 | ||
【主权项】：
1.一种移动体装置，包括：/n第一移动体，能够在规定方向移动；/n第二移动体，设置成所述第一移动体能够相对移动，且能够朝向所述规定方向移动；/n底座，支撑所述第二移动体；/n致动器单元，包括第一致动器及第二致动器，使所述第一移动体及所述第二移动体关于所述规定方向相对于所述底座而相对驱动，所述第一致动器将使所述第二移动体相对于所述底座在所述规定方向上相对移动的推力设为第一推力而赋予至所述第一移动体，所述第二致动器将所述推力设为大于所述第一推力的第二推力而赋予至所述第一移动体；以及/n控制系统，对所述第一致动器及所述第二致动器进行控制，基于使所述第一移动体及所述第二移动体相对于所述底座相对移动时所要求的推力，对所述第一致动器及所述第二致动器中至少任一个致动器进行控制。/n
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