[发明专利]用于辅助调整射束扩展器的方法、调整辅助设备以及射束扩展器有效
申请号: | 201880036050.1 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN110799892B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 简·维尔斯施尼克;斯特凡·弗兰兹;斯特凡·穆勒-普菲弗 | 申请(专利权)人: | 业纳光学系统有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G01B11/27 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 德国耶拿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于辅助调整射束扩展器(100)的方法,该射束扩展器具有:带有光入射开口(104)和光出射开口(108)的接纳管(102)和至少一个光学元件(200,202,204),该光学元件设在该光入射开口与出射开口之间的射束路径中以改变经由该光入射开口(104)输入的射束(106)的直径。在该方法中,通过测量与该接纳管(102)耦合的参考面(114)确定该射束(106)沿该射束扩展器(100)光轴(110)的额定位置,通过测量该射束(106)相对该接纳管(102)横截面的能量分布确定该射束(106)沿该光轴(110)的实际位置。通过对比该实际位置与该额定位置,获取在该实际位置与该额定位置之间的偏差值。最后在使用该偏差值时,输出辅助信息(124),以便进行调整时辅助使用者。 | ||
搜索关键词: | 用于 辅助 调整 扩展 方法 设备 以及 | ||
【主权项】:
1.一种用于辅助调整射束扩展器(100)的方法(1600),其中该射束扩展器(100)具有:带有光入射开口(104)和光出射开口(108)的接纳管(102),以及至少一个光学元件(200,202,204),该光学元件布置在该光入射开口(104)与该光出射开口(108)之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口(104)输入的射束(106)的直径,其中该方法(1600)包括以下步骤:/n通过测量与该接纳管(102)耦合的参考面(114)来确定(1610)该射束(106)沿着该射束扩展器(100)的光轴(110)的额定位置,并且通过测量该射束(106)相对于该接纳管(102)的横截面(300,302)的能量分布来确定该射束(106)沿着该光轴(110)的实际位置;/n通过对比该实际位置与该额定位置来获取(1620)代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值(1502);以及/n输出(1630)辅助信息(124),该辅助信息用于在使用该偏差值(1502)的情况下在进行调整时辅助使用者。/n
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