[发明专利]加工装置及加工方法有效
| 申请号： | 201880037290.3 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110709205B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 柴崎祐一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张德斌;闫加贺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的加工装置具备：第1载台系统，其具有载置工件(W)的平台(12)，且使保持于平台的工件移动；光束照射系统(500)，其包含射出光束(LB)的聚光光学系统(530)；以及控制装置，其控制第1载台系统及照射系统；一边使平台与来自聚光光学系统的光束相对移动，一边对工件的目标部位进行加工，且可变更聚光光学系统的射出面侧的第1面(MP)上的光束的强度分布、及聚光光学系统的光轴(AX)方向上的位置与第1面不同的第2面上的光束的强度分布的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其为对工件照射光束而进行加工者，其具备：/n第1保持系统，其具有载置所述工件的第1保持构件，且使保持于所述第1保持构件的工件移动；/n光束照射系统，其包含射出所述光束的聚光光学系统；及/n控制装置；/n一边使所述第1保持构件与来自所述聚光光学系统的光束相对移动，一边对所述工件的目标部位进行加工，且/n可变更所述聚光光学系统的射出面侧的第1面上的所述光束的强度分布、及所述聚光光学系统的光轴方向的位置与所述第1面不同的第2面上的所述光束的强度分布至少一者。/n
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