[发明专利]清洗装置以及清洗方法有效
| 申请号： | 201880037572.3 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110753675B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 高藤创;福江真;三户美文 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;B08B3/02;B08B7/02;C23C16/44;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 尹吉伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种清洗方法，其是从喷嘴(112、122)喷吐出含有磨粒的清洗液，以对钟罩(500)的内壁面(502)进行清洗的清洗方法，其中，喷嘴(112、122)以使清洗液所导致的冲蚀为500μm/小时以下的喷吐压来喷吐出清洗液，对喷嘴(112、122)与内壁面(502)之间的距离进行调整，以确保清洗液对内壁面(502)的冲击压为可去除内壁面(502)的污垢的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种清洗方法，其是从喷嘴喷吐出含有磨粒的清洗液，并使该清洗液冲击多晶硅的制造中所用的钟罩的内壁面，以对上述内壁面进行清洗的清洗方法，/n上述清洗方法的特征在于，/n上述喷嘴以使上述清洗液对上述喷嘴的冲蚀为500μm/小时以下的喷吐压来喷吐出上述清洗液，/n对上述喷嘴与上述内壁面之间的距离进行调整，以确保上述清洗液对上述内壁面的冲击压为可去除上述内壁面的污垢的压力。/n
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