[发明专利]用于光束扫描的测量探针有效
| 申请号： | 201880037806.4 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110799816B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | R·克莱默;O·马丁;S·沃尔夫;A·科格鲍尔;R·尼德里格 | 申请（专利权）人： | 普莱姆斯激光测量技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;F21V8/00 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 成春荣;竺云 |
| 地址： | 德国普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于扫描光束(10)或激光束的测量探针。该测量探针适合用于直接扫描具有非常高的功率的激光束以及适合用于确定具有高空间分辨率和高信噪比的光束(10)的几何参数，因为测量探针对测量探针内部的多次反射不敏感。为此，提出一种装置，该装置包括具有光束入射面(22)、光束出射面(23)、样品光出射面(25)以及探针区域(30)的扫描体(20)。该装置还包括检测器(40)和用于提供扫描体(20)与光束(10)之间的相对运动的装置。扫描体(20)是杆状的，并且由透明的导光材料组成。扫描体(20)具有用于在扫描体(20)上形成表面部分(27)的凹槽(21)，该表面部分(27)包括光束入射面(22)或光束出射面(23)。光束入射面(22)的法线方向(28)相对于光束出射面(23)的法线方向(29)以5°至20°范围的角度α倾斜。探针区域(30)布置在扫描体(20)的横截面平面(26')中，该横截面平面(26')位于凹槽(21)的区域中。横截面平面(26')中的扫描体(20)的横截面尺寸(D')是凹槽(21)外部的横截面平面(26)中的扫描体(20)的横截面尺寸(D)的至少50％。探针区域(30)具有光偏转结构。检测器(40)被布置用于检测至少一部分由探针区域(30)从光束(10)偏转的光束分量(15)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光束 扫描 测量 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描光束(10)的装置包括具有光束入射面(22)、光束出射面(23)、样品光出射面(25)以及探针区域(30)的扫描体(20)，所述装置还包括检测器(40)和用于提供扫描体(20)与光束(10)之间的相对运动的装置，/n-其中所述扫描体(20)在纵向轴线(19)的方向上是杆状延伸的，并且由对光束(10)透明的导光材料组成，/n-其中扫描体(20)具有用于在扫描体(20)上形成表面部分(27)的凹槽(21)，所述表面部分(27)包括光束入射面(22)或光束出射面(23)，/n-其中光束入射面(22)的法线方向(28)相对于光束出射面(23)的法线方向(29)以5°至20°范围的角度(α)倾斜，/n-其中扫描体(20)包括探针区域(30)，/n-其中探针区域(30)布置在扫描体(20)的横截面平面(26')中，所述横截面平面(26')位于凹槽(21)区域中，垂直于纵向轴线(19)并且邻接表面部分(27)，/n-其中在布置了探针区域(30)的横截面平面(26')中的扫描体(20)的横截面尺寸(D')是位于凹槽(21)外部的、垂直于纵向轴线(19)的横截面平面(26)中的扫描体(20)的横截面尺寸(D)的至少50％，/n-其中探针区域(30)具有光偏转结构，以及/n-其中检测器(40)被布置用于检测至少一部分由探针区域(30)从光束(10)偏转的光束分量(15)。/n
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