[发明专利]制造可变效率衍射光栅的方法以及衍射光栅有效
| 申请号： | 201880038124.5 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111095042B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | J·拉霍迈基;I·瓦蒂亚宁 | 申请（专利权）人： | 迪斯帕列斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B6/00;G02B26/08;G02B27/09;C23C16/01;C23C16/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈斌;蔡悦 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及制造经调制光学衍射光栅的方法和对应光栅。该方法包括：提供基板并且在该基板上制造多个临时元件，这些临时元件以包括具有不同元件特性的至少两个周期的周期性图案被布置。接下来，第一沉积层被沉积，以便用第一沉积层至少部分地覆盖临时元件，并且这些临时元件从基板上被去除，以便在该基板上形成由第一沉积层制成的第一光栅元件的经调制衍射光栅，该图案在每个周期内包括多个第一光栅元件和这些第一光栅元件之间的一个或多个间隙。本发明允许生成具有局部变化的衍射效率的高质量光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 可变 效率 衍射 光栅 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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