[发明专利]经高度调制的衍射母板及其制造方法有效
| 申请号： | 201880038493.4 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111033325B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | J·拉霍迈基;I·瓦蒂亚宁 | 申请（专利权）人： | 迪斯帕列斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G02B27/44;B29D11/00;G02B27/00;G02B27/01 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈斌;蔡悦 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造用于生成衍射结构的母板的方法以及由此获得的母板。该方法包括：提供具有周期性表面轮廓的基板；至少部分地用填充材料(16A、16B)均匀地填充该表面轮廓，以及部分地去除该填充材料(16A、16B)，以便生成具有由所述基板和所述填充材料(16A’、16B”)形成的周期性的经高度调制的表面轮廓的母板。本发明允许生成能够进一步生成具有可变衍射效率的光栅的母板。 | ||
| 搜索关键词： | 高度 调制 衍射 母板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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