[发明专利]氮化镓粒子及其制造方法有效
| 申请号： | 201880038957.1 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110730761B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 召田雅实;仓持豪人 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C01B21/06 | 分类号： | C01B21/06;C04B35/58;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 孙扬;龚敏 |
| 地址： | 日本国山口县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可制作高密度、高强度的氮化镓的溅射靶的氧含量少且成形性高的氮化镓粒子。通过使氧化镓和氮化镓的混合粉末在1000～1100℃的温度下以每小时的氨反应量相对于投入的镓量成为1倍摩尔以上的比例的方式进行反应，得到氧含量为1atm％以下、一次粒子的平均粒径为5μm以上、粒度分布中从最小粒子起算达到10面积％的范围的粒径(10％粒径)为3μm以下的氮化镓粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 粒子 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氮化镓粒子，其特征在于，/n氧含量为1atm％以下，一次粒子的平均粒径为5μm以上，粒度分布中从最小粒子起算达到10面积％的范围的粒径(10％粒径)为3μm以下。/n
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