[发明专利]电解处理组件和使用其的表面处理装置在审
申请号: | 201880039005.1 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN110753763A | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
发明(设计)人: | 石井胜己;渡边重幸 | 申请(专利权)人: | ALMEXPE株式会社 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/10;H05K3/18 |
代理公司: | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 沈娥;褚瑶杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 被安装在对设定为阴极的工件(1)的表面进行电解处理的表面处理槽(10)中的电解处理组件(100)包含喷嘴单元(200)、以及与喷嘴单元一体地连结的阳极单元(300)。喷嘴单元包含多个喷嘴管(210)、共用配管(220)、以及将共用配管与外部配管连结的配管接头(230)。阳极单元包含阳极箱(320)、以及将不溶性阳极与设置于表面处理槽的外部供电部(40)连接的被供电部(330)。阳极箱包含配置在与多个喷嘴管在水平方向分开的位置的至少一个不溶性阳极(310)、以及与不溶性阳极在水平方向分开地配置的间隔壁。 | ||
搜索关键词: | 不溶性阳极 喷嘴单元 配管 表面处理槽 电解处理 阳极单元 喷嘴管 阳极箱 连结 阴极 外部供电部 配管接头 供电部 间隔壁 配置的 一体地 外部 配置 | ||
【主权项】:
1.一种电解处理组件,其安装在对设定为阴极的工件的表面进行电解处理的表面处理槽中,其特征在于,/n该电解处理组件具有喷嘴单元;以及/n与所述喷嘴单元一体地连结的阳极单元,/n所述喷嘴单元包含:/n从垂直方向的不同位置分别喷出处理液的多个喷嘴管;/n向所述多个喷嘴管供给所述处理液的共用配管;以及/n将所述共用配管与设置于所述表面处理槽的外部配管连结的配管接头,/n所述阳极单元具有:/n至少一个不溶性阳极,其配置在与所述多个喷嘴管在水平方向分开的位置;/n阳极箱,其包含与所述至少一个不溶性阳极在所述水平方向分开地配置的间隔壁,利用所述间隔壁包围所述至少一个不溶性阳极;以及/n被供电部,其将所述至少一个不溶性阳极与设置于所述表面处理槽的外部供电部连接。/n
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