[发明专利]真空阀、计算机可读介质和用于控制真空阀的方法

摘要

本发明涉及一种真空阀、计算机可读介质和用于控制真空阀的方法，用于调整体积流或质量流和/或气密中断流路的真空阀(1')具有：阀座(3)，其具有限定出开口轴线(H)的阀开口(2)和围绕阀开口(2)的第一密封面(3)；用于调整体积流或质量流和/或中断流路的阀关闭件(4)，其具有对应于第一密封面(3)的第二密封面(6)；与阀关闭件(4)相连的驱动单元(7)，关闭件(4)从阀关闭件(4)和阀座(3)彼此相对不接触存在的开启位置(O)移动到通过位于其间的密封(23)在第一密封面(3)和第二密封面(6)之间存在密封接触并由此气密关闭该阀开口(2)的关闭位置(G)，并且能回移。真空阀(1')具有至少一个温度传感器(10)，借助温度传感器(10)能获得代表与真空阀(1’)的至少一部分相关的热信息的测量信号。