[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 201880043152.6 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110809685B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | A·施恩莫塞尔;A·加勒;M·兹卡尔 | 申请（专利权）人： | VAT控股公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K15/03;F16K37/00;F16K3/02;F16K3/04;F16K3/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;黄纶伟 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空阀(1')，具有至少一个声学传感器(10)，该声学传感器(10)设计成信息可以作为测量信号通过该声学传感器经由作用于真空阀(1')的至少一个部件的结构固有声波来产生。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【主权项】：
暂无信息
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