[发明专利]光学装置有效
| 申请号： | 201880043756.0 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799889B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部。电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，其特征在于，/n具备：/n基座，其具有主面；/n可动部，其具有光学功能部；/n弹性支撑部，其连接于所述基座与所述可动部之间，且以所述可动部能够沿着与所述主面垂直的规定方向移动的方式支撑所述可动部；/n固定梳齿电极，其设置于所述基座，且具有多个固定梳齿；及/n可动梳齿电极，其设置于所述可动部及所述弹性支撑部的至少一者，且具有与所述多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿，/n所述可动部及所述弹性支撑部的所述至少一者具有支撑所述可动梳齿电极的电极支撑部，/n所述电极支撑部具有以所述规定方向上的所述电极支撑部的厚度厚于所述规定方向上的所述可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。/n
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