[发明专利]压电薄膜元件有效
| 申请号： | 201880044596.1 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110832654B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 木村纯一 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/079 | 分类号： | H10N30/079;B81B3/00;C23C14/06;H10N30/853;H10N30/87 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;陈明霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电薄膜与下部电极层(第一电极层)之间的晶格不匹配减少了的压电薄膜元件。压电薄膜元件(10)具备第一电极层(6a)、和直接层叠于第一电极层(6a)的压电薄膜(2)，第一电极层(6a)包含由两种以上的金属元素构成的合金，第一电极层(6a)具有面心立方晶格结构，压电薄膜(2)具有纤锌矿型结构。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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