[发明专利]用于测量对象的光学表面测量的方法和设备有效
| 申请号： | 201880044995.8 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN110832271B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 汉内斯·洛弗尔;勒纳·凯克杰拉德;约瑟夫·雷特伯格;雷纳·黑森;罗伯特·瓦格纳 | 申请（专利权）人： | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;H04N5/235;H04N5/243 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;郭放 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量对象(2)的光学表面测量的方法，其中用图像产生装置(1)显示图像图案，并且其中用检测装置(3)记录在被所述测量对象(2)反射、散射、衍射或透射之后的所述图像图案，其特征在于，借助于校正函数将所述图像产生装置(1)以及由此所显示的图像图案适配成使得由所述检测装置(3)记录的受影响的图像图案一时地和/或局部地具有至少基本恒定和/或均匀和/或线性的亮度。此外，还涉及用于执行该方法的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 对象 光学 表面 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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