[发明专利]用于整修复制工具的方法和用于制造大量装置的相关方法有效
| 申请号： | 201880045519.8 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN111279261B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 余启川;伍寒妮;托比亚斯·桑;约翰·A·维达隆;拉蒙·奥珀达;阿蒂利奥·费拉里;哈特姆特·鲁德曼;马丁·舒伯特 | 申请（专利权）人： | 赫普塔冈微光有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C59/00;B29D11/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王东贤;王珍仙 |
| 地址： | 新加坡新加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于制造大量装置的方法包括：—提供包括工具材料的复制工具；—整修复制工具，其中整修包括向工具材料施加处理，其中处理包括将工具材料暴露于整修材料。并且其进一步包括，在整修后：—进行一个或多个复制过程，其中在一个或多个复制过程中的每一个中，使用复制工具，通过复制由复制材料生产一个或多个装置。处理可包括通过使工具材料暴露于整修材料而在尺寸上改变工具材料。在进行复制过程之前，整修材料可被硬化并且去除。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 整修 复制 工具 方法 制造 大量 装置 相关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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