[发明专利]试样观察装置和试样观察方法有效
| 申请号： | 201880045896.1 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110869747B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 杉山范和;松原正典;山本谕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;梁霄颖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 试样观察装置(1)包括：向试样(S)照射面状光(L2)的照射部(11)；相对于面状光(L2)的照射面R在一个方向上扫描试样(S)的扫描部(12)；将来自试样(S)的荧光(J1)和散射光(J2)分别成像的成像部(17)；输出基于荧光(J1)的光像的第一图像数据(G1)和基于散射光(J2)的光像的第二图像数据(G2)的拍摄部(13)；基于多个第一图像数据(G1)生成荧光图像(F1)且基于多个第二图像数据(G2)生成散射光图像(F2)的图像处理部(32)；和基于散射光图像(F2)确定荧光图像(F1)中的试样(S)的存在区域(N4)，基于试样S的存在区域(N4)设定荧光图像(F1)中的解析区域(N5)的解析部(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 观察 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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