[发明专利]用于操作集成MEMS麦克风设备的方法和集成MEMS麦克风设备有效

专利信息
申请号: 201880046029.X 申请日: 2018-07-03
公开(公告)号: CN110915232B 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 西村直明 申请(专利权)人: AMS有限公司
主分类号: H04R3/00 分类号: H04R3/00
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提出一种用于操作集成MEMS麦克风设备(1)的方法。所述集成MEMS麦克风设备(1)包括包围内部腔(16)的封装壳体(10),其中,在内部腔(16)内设置有具有可移动膜(19)的集成MEMS麦克风管芯(12)、至少一个环境传感器(13)和热去耦电路(14)。所述方法包括以下步骤:在测量模式(MM)中重复操作环境传感器(13);对于环境传感器(13)的测量模式(MM)之前和/或之后的过渡阶段(TP1、TP2),激活热去耦电路(14)。在过渡阶段(TP1、TP2)期间,逐渐调整进入内部腔(16)的热耗散。
搜索关键词: 用于 操作 集成 mems 麦克风 设备 方法
【主权项】:
暂无信息
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