[发明专利]用于干涉仪的反射镜轴承

摘要

本公开内容的方面针对用于干涉仪的反射镜轴承。示例反射镜轴承包括固定不动的安装构件和可移动反射镜组件，可移动反射镜组件被构造成能沿其纵向轴线相对于安装构件滑动地移动。安装构件被构造成刚性地附接到干涉仪本体。镗孔沿安装构件的纵向轴线延伸通过安装构件。安装构件的驱动线圈接收区被构造成保持耦接至安装构件的驱动线圈。可移动反射镜组件包括管，该管被构造成在管的一个端部处接收安装构件的端部。可移动反射镜组件还包括耦接到管的相反端部的反射镜。驱动磁体设置在管内，并被构造成在反射镜轴承处于组装构造时被接收在安装构件的镗孔内。