[发明专利]用于刷子调理的化学品输送的方法和装置在审
| 申请号： | 201880046915.2 | 申请日： | 2018-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110914969A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·斯科特·威瑟斯;科里·艾伦·休斯;埃里克·斯科特·纳尔逊;史蒂芬·肯尼斯·克里斯蒂;布伦特·艾伦·贝斯特 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了输送用于离线调理刷子的化学品的实施例，其中刷子未与利用刷子清洁物体表面的机器联接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刷子 调理 化学品 输送 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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