[发明专利]溅射靶、氧化物半导体膜的成膜方法以及背板有效
| 申请号： | 201880047311.X | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110892089B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 海上晓 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/453;H01L21/363 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的溅射靶(1)中，板状的氧化物烧结体(3)具有沿Y方向排列的多个区域，多个区域具有：端部区域(7A、7B)，是包括Y方向上的端部的区域；内侧区域(9A、9B)，是从端部朝向Y方向计数处于内侧第2个的区域，在将端部区域(7A、7B)的板厚设为t |
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| 搜索关键词： | 溅射 氧化物 半导体 方法 以及 背板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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