[发明专利]用于三向同性颗粒的化学气相沉积涂层的多入口气体分布器有效
申请号: | 201880048007.7 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN110914921B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | H·基姆;P·J·帕普帕诺 | 申请(专利权)人: | X能源公司 |
主分类号: | G21C15/253 | 分类号: | G21C15/253 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 刘锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于流化床化学气相沉积反应器的多入口气体分布器可以包括分布器主体,所述分布器主体具有入口表面、与所述入口表面相对的出口表面以及侧周界表面。所述分布器主体还可以包括多个入口,所述多个入口彼此均匀地间隔开,其中,所述多个入口从所述入口表面穿透所述分布器主体到达第一深度。所述分布器主体可以另外包括圆锥形孔,所述圆锥形孔在所述第一深度处连接到所述多个入口中的相应入口,并且从所述第一深度朝向所述出口表面延伸。可以在所述圆锥形孔的交点处在所述出口表面上形成顶点。 | ||
搜索关键词: | 用于 同性 颗粒 化学 沉积 涂层 入口 气体 分布 | ||
【主权项】:
暂无信息
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