[发明专利]用于检查样品的多通道共焦传感器和相关方法有效
| 申请号： | 201880048331.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110945316B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 特里斯坦·孔比耶;菲利普·加斯塔尔多 | 申请（专利权）人： | 统一半导体公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/06;G02B21/00;G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邰凤珠;刘继富 |
| 地址： | 法国蒙特邦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种多通道共焦传感器，其包括光源(14)、聚焦透镜布置(10)以及光学检测器(25)。该传感器还包括：‑第一光学集成电路(11)，其布置为将来自所述宽频带光源的光束(24)分离成多个发射光束，所述多个发射光束施加到发射孔(29)的高密度阵列；‑第二光学集成电路(20)，其布置为在多个收集孔(18)上收集来自待检查样品(17)的多个反射光束并且将所述反射光束传输到光学检测器(25)；‑分束器(22)，其布置为(i)通过聚焦透镜布置(10)将所述发射光束从第一光学集成电路(11)引导到检查基底(17)，以及(ii)通过聚焦透镜布置(10)将反射光束从检查样品(17)引导到第二光学集成电路(20)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 样品 通道 传感器 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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