[发明专利]校正装置、编码器装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201880048937.2 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110959101B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 渡边昭宏;高崎政久 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01D5/347 | 分类号： | G01D5/347;G01D5/244 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备：位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置，其中标尺安装于旋转体；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 装置 编码器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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