[发明专利]在晶圆上进行化学合成的系统和方法在审
| 申请号： | 201880049744.9 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110944743A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·克洛诺哥拉克;格伦·麦克加尔;李博览;周巍 | 申请（专利权）人： | 生捷科技控股公司 |
| 主分类号： | B01J10/02 | 分类号： | B01J10/02;B01J12/02;B01J19/14;B01J19/24;B01J19/26;C12Q1/6806;C12Q1/6837 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武晶晶 |
| 地址： | 开曼群*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供晶片处理的方法、装置和系统。所述晶片处理装置使用盖子中的喷嘴将溶液分散到晶片表面。此外，晶圆片位于真空吸盘的顶部，并且当溶液通过表面张力分配到晶圆片表面时，晶圆片不会旋转，从而允许第一溶液与表面的试剂发生反应。此外，当分配第一溶液时，盖子和晶片之间的分离间隙处于预定的距离，例如，从约20微米到约2毫米。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆上 进行 化学合成 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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