[发明专利]有机金属化合物和沉积高纯度氧化锡方法在审
| 申请号： | 201880050021.0 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111032667A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | R·奥德拉;董存海;D·法布里亚克;W·格拉夫 | 申请（专利权）人： | 海星化学有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/22 | 分类号： | C07F7/22;C23C16/40;C23F1/02 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 徐迅;崔佳佳 |
| 地址： | 加拿大不列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本文公开了可用于沉积高纯度氧化锡的化合物。还公开了使用此类化合物沉积氧化锡膜的方法。这样的膜表现出高的保形性、高的蚀刻选择性并且是光学透明的。此类化合物为下式的那些化合物：R |
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| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 沉积 纯度 氧化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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