[发明专利]具有窗口的抛光垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201880050338.4 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN110997232B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 傅博诣;S·嘎纳帕西亚潘;D·莱德菲尔德;R·巴贾杰;A·乔卡里汉;D·J·本韦格努;M·D·科尔内霍;M·山村;N·B·帕蒂班德拉;A·沃兰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B37/20;B24B37/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例提供包括至少一终点检测(EPD)窗口设置穿过抛光垫材料的抛光垫及其形成方法。在一实施例中，形成抛光垫的方法包括通过分配第一前驱物组成物和窗口前驱物组成物，以形成抛光垫的第一层，第一层包含第一抛光垫元件和窗口特征中的每一者的至少部分，及使置于第一层内的所分配的第一前驱物组成物与所分配的窗口前驱物组成物部分硬化。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 窗口 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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