[发明专利]光检测器有效
| 申请号： | 201880051185.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110998254B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 山崎理弘;柴山胜己;北浦隆介;小池亮介;田中豪 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;H01L27/144 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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