[发明专利]抛光设备及抛光方法有效
| 申请号： | 201880051299.X | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110997233B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 周謇;李红旗;J·A·库尔特拉 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B49/12;B24B57/02;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一些实施例包含一种设备，其具有经配置以抛光晶片的表面的抛光机构。所述抛光机构在抛光工艺期间将新鲜浆液转换为已用过浆液。至少一个发射器经配置以将电磁辐射引导到所述已用过浆液上或通过所述已用过浆液。至少一个检测器经配置以检测所述电磁辐射穿过所述已用过浆液的透射或所述电磁辐射从所述已用过浆液的反射。识别系统与所述至少一个检测器耦合且经配置以识别指示已达到所述抛光工艺的端点的所述已用过浆液的性质。控制电路与所述识别系统耦合且经配置以基于接收来自所述识别系统的触发信号而停止所述抛光工艺。一些实施例包含抛光方法。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 方法 | ||
【主权项】：
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