[发明专利]MEMS振动元件、MEMS振动元件的制造方法及振动发电元件在审
| 申请号： | 201880051311.7 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111051235A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 桥口原;古贺英明 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人静冈大学;株式会社鹭宫制作所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C3/00;H02N1/00;H02N2/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供MEMS振动元件，其具备基体部、固定于基体部的固定部、相对于固定部可动的可动部、以及将可动部弹性支撑于基体部的弹性支撑部，弹性支撑部由与固定部及可动部不同的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | mems 振动 元件 制造 方法 发电 | ||
【主权项】：
暂无信息
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