[发明专利]振动隔离系统和光刻设备有效
| 申请号： | 201880051616.8 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110998451B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 弗朗西斯库斯·玛丽亚·乔安妮斯·林森;休伯图斯·雷尼尔·马丽亚·范里罗普 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C33/74 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动隔离系统(IS)，其包括支撑件(10)、前向致动器(20)和返回装置(40)。支撑件用于将主体(2)支撑到基座(1)上。支撑件具有主体接合表面(12)和基座接合表面(11)。基座接合表面布置为联接至基座。支撑件在联接状态中使主体接合表面联接到主体。支撑件在非联接状态下使主体接合表面与主体分离。前向致动器在联接状态下使主体和主体接合表面一起相对于基座沿第一方向从第一初始位置移动到终点位置。返回装置被配置为在非联接状态下使主体接合表面相对于主体与第一方向反向地从终点位置移动到第二初始位置。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 隔离 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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