[发明专利]液体测微器有效
| 申请号： | 201880052291.5 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110998227B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 吉川和博;浅野真己雄;桥本一十三;都筑拓也;笹尾起美仁 | 申请（专利权）人： | 先进电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B13/02 | 分类号： | G01B13/02 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的液体测微器的特征在于，包括：液体流路(30)，从液体供给单元(10)将液体供给至排出喷嘴(20)；流量传感器(40)，设置在液体流路(30)；控制阀(50)，设置在液体供给单元(10)与流量传感器(40)之间的液体流路(30)；控制部(60)，以由流量传感器(40)所测量的流量为设定值的方式控制控制阀(50)；压力传感器(70)，测量从排出喷嘴(20)喷出的液体的压力；运算部(80)，根据由控制部将流量保持为设定值的状态下的压力传感器(70)所测量的压力来运算工件(A)的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 测微器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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