[发明专利]含有固体碳的材料的加工体、其制造方法和其制造装置在审
| 申请号： | 201880052808.0 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111032932A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 西林良树;辰巳夏生;滨木健成 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C04B41/91 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;牛嵩林 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料由至少具有含有固体碳的表面的材料构成；形成气相流体的步骤，所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种；和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 固体 材料 加工 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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