[发明专利]真空泵和控制装置有效
申请号: | 201880052851.7 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN110914551B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 江泽由雅;深美英夫;佐藤光 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F16C32/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;闫小龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 【课题】提供在稳定运转时能进行高精度的稳定的控制并且耐干扰且泵的停止时间较短并谋求小型化的真空泵和控制装置。【解决方案】由减法运算器1计算出的位置偏差分别被输入到3个模式的PID22、32、42中。PID22是高偏置模式用的PID调节器,PID32是高刚性模式用的PID调节器,PID42是低刚性模式用的PID调节器。按PWM频率的每个时钟提取PID42的输出信号来作为指示电流的变化量,在计算部41中取几个时钟之间的指示电流的变化量的平均值ΔC。在此,通过切换控制部45运算平均化后的指示电流的变化量的平均值ΔC的大小是否比预先设定的规定值大,根据其结果,将α值以0至1的范围从切换控制部45输出。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 控制 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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